1

仪器的分辨率及灵敏度

Ag 3d5/2峰强度@半高全宽，最佳测试条件下）大束斑条件下的能量分辨率和灵敏度：2.5 Mcps@0.6eV、10.0 Mcps@1.0eV；小束斑（Φ15~20   mm）条件下的能量分辨率和灵敏度：30kcps@0.6eV、300kcps@1.0eV。

2

真空系统

分析室极限真空度应≤5×10^-9 mbar

3

能量分析器

双聚焦半球型能量分析器能量扫描范围：≥0-1500 eV，最小能量步长≤3   meV；通过能设置范围：≥1-400 eV；通过能调节模式：连续可调，最小调节步长≤1   eV；检测器：配置128通道微通道板探测器或更优检测器

4

X射线光源（单色化Al   Kα X射线源，电子束具备聚焦功能）

光源最大功率：≥120W；最小聚焦获得束斑（非成像模式模拟）≤10   µm

5

自动化荷电中和系统

绝缘体分析能力（PET，O-C=O的C 1s峰半高全宽@C-C/C-H的C 1s峰强度）：≥15kcps@0.82eV。

6

紫外光电子能谱仪（He紫外光源）能量分辨率

对Ag费米边，能量分辨率应≤120   meV；灵敏度：能量分辨率小于120meV时，灵敏度（Ag4d）≥2,000,000   cps

7

反射电子能量损失谱能量分辨率和灵敏度

对于干净的银样品，能量分辨率≤0.5 eV时，灵敏度应≥1000   kcps