葛兰帕AC-AFM　

25.4 x 25.4 x 6.35 mm
  400xZoom,2μm resolution，配备5倍长焦透镜，可以实现2000倍光学分辨率
  Z 轴分辨率（噪音水平）: 0.035nm
  XY 轴分辨率(噪音水平) ：0.3nm
  XY 电子分辨率：0.01nm，XY 非线性度：1%
  1 轻敲模式(vibration mode)
  2 接触模式 (Contact mode)
  3 相位成像模式 (Phase imaging)
  4 横向力模式 (Lateral force Microscopy LFM)
  5 力曲线测试（Force curve）
  6 纳米操控 （nanomanipulation）
  7 纳米刻蚀 （nanolithography）
  8 力矩阵模式 （Force Mapping）
  9 摩擦力测试 （Friction Mode）
  具有多功能MEMS探针夹持器，可以使用self-sensor系列的探针，或定制的MEMS镊子等芯片实现高精度纳米探针探测系统数据连接接口USB输出
   

　电子束纳米探针台是一款具备高精度的扫描纳米分析仪器。可针对样品表面粗糙度以及样品微纳尺度实施分析，且能够适配样品大小至最大 25.4mm X 25.4mm X 6.35mm，并适用于各类标准尺寸探针。在常规应用方面包括：表面形貌的成像——通常情况下，表面特征的成像能够有力地协助确认一个实验操作过程是否已然有效地完成，对于在晶圆工艺中频繁遭遇的超平样品亦可提供极强的对比度；表面粗糙度/纹理测量——作为可用于纳米级表面粗糙度测量的仪器，再搭配以适当的防震隔音罩，能够对表面纹理低至 0.1 纳米的样品进行测量；台阶高度测量——能够出色地用于台阶高度测量，可对从   0.3 纳米至 500 纳米的台阶高度实施测量。